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氣相沉積爐設備特點是什么
發布時間:2023-03-06   瀏覽:1259次

  氣相沉積爐設備特點是什么

  氣相沉積爐適用于化學氣相沉積法制備碳-碳復合材料,也可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理,或以三氯甲硅烷(MTS)為氣源的材材料料表面抗氧化涂層、基體改性等。

氣相沉積爐

  裝料方式有上裝料、底裝料、臥式三種裝料方式。該氣相沉積爐設備特點如下:

  1.多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

  2.采用先進的控制技術,能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動范圍??;

  3.氣相沉積爐設備自動化高,關鍵執行電氣件采用進口;操作直觀、簡便,觸摸屏經過開發,可動態顯示爐子運行狀況并具有自我診斷功能,程序段可直接輸入。

  4.采用特殊結構沉積室,密封效果好,抗污染能力強。


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